台板に載せた製品を油圧プッシャーで押すことにより配送する連続式焼成炉です。
同一製品の量産や高温域での安定した生産が可能です。
| 最高温度 | 1600℃ |
|---|---|
| 雰囲気 | Air、N₂、N₂+H₂、H₂、O₂、Ar、CO₂ |
| 熱源 | 電気 |
炉内雰囲気の均一化
-
ガスの給排気孔の開閉位置を多く設定する独自設計で、より高精度な雰囲気制御を可能にしました。 -
給気は断面方向の左右に及び中心部から供給されます。給気量が個別に調整できるため、炉内雰囲気の均一性が向上します。
レイアウト例
真空置換室
N2消費量削減
置換時間が短いため焼成サイクルの短い製品に最適です。真空排除後にN2ガス投入するため、N2消費量を最大75%削減。（従来比）
主挿入プッシャー装置
安定した炉内搬送
台板を押す簡易的な搬送方式は安全性や信頼性に優れます。
送り速度を厳密に制御します。
送り速度精度：時間差：±1%（標準±2%）
高温連続焼成
400℃の脱バイから1600℃オーバーの焼結まで幅広い温度域に対応します。
リチウムイオン電池材料、活性炭、MLCC、サーミスタ、他電子部品材料 など
